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80K行频线阵相机
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大视场远心镜头,保证精度
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高行频线扫相机,提高扫描速率
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离线式SPC分析软件
高精度
采用花岗岩机体结构+直线电机+光栅式结构,配合全闭环控制系统,以±2um的动态跟随精度保证图像采集精度,孔位精度可达±5um
多功能
钻机精度补偿技术
可为钻机输出线性精度补偿信息
尺寸检测功能
尺寸检测:圆弧/半径,直线间距,直线角度
最小可测孔径
可实现载板/软板/测试架的超小孔径检测,最小检测孔径为0.05mm
80K行频线阵相机
大视场远心镜头,保证精度
高行频线扫相机,提高扫描速率
离线式SPC分析软件